Cât de vital estetije de molibden pentru industria semiconductoarelorstabilitate dimensională?
În atelierele de creștere a siliciului monocristalin sau a safirului, procesul de extragere a cristalelor durează adesea zeci sau chiar sute de ore, iar câmpul de temperatură trebuie controlat cu precizie peste 1400 de grade. Odată ce componenta câmpului termic are o deformare chiar de 0,5 mm, diametrul cristalului poate fluctua, densitatea de dislocare poate crește, iar rata de curgere va fi direct scăzută. Cea mai mare durere de cap pentru mulți ingineri nu este ruptura bruscă, ci fluxul „invizibil” și acumularea de căldură.
Printre acestea, tijele de molibden sunt folosite ca materiale structurale de bază ale tijelor de susținere a câmpului termic, cleme de cristal de semințe sau componente de încălzire, iar stabilitatea lor dimensională la -căldură scăzută și la-temperatură ridicată a devenit un factor decisiv. Coeficientul termic al molibdenului în sine este foarte scăzut, dar performanța tijelor de molibden cu purități diferite și tehnologie de procesare variază foarte mult în condiții de temperatură înaltă-pe termen lung și vid. Tijele obișnuite de molibden sinterizate sunt predispuse la micro-alungire cauzată de creșterea granulelor după cicluri termice repetate, în timp ce tijele de molibden de-puritate ridicată care au suferit forjare multi-direcțională și recoacere la-temperatură înaltă au o orientare mai uniformă a granulelor și o rezistență la fluaj semnificativ îmbunătățită. Deformarea cumulativă este controlată într-un interval foarte mic.
Am folosit o fabrică care a făcut tije de cristal de safir de 6-inchi. În primele zile, au fost utilizate tije de sprijin convenționale din molibden. Câmpul termic a trebuit să fie calibrat la fiecare câteva cristale trase, iar rata de producție s-a situat în jurul valorii de 65%. Ulterior, după înlocuirea tijei de molibden de calitate semiconductoare cu structura noastră de cereale optimizată, timpul de tragere continuă într-un singur cuptor a fost prelungit, fluctuația câmpului termic a fost redusă semnificativ, consistența diametrului cristalului finit a fost îmbunătățită, iar randamentul total a crescut cu aproape 15 puncte procentuale. Mai puține înlocuiri de componente și mai puțină ajustare a parametrilor aduc nu numai reducerea costurilor, ci și stabilitatea ritmului de producție.
De ce este acest punct atât de critic? Deoarece creșterea cristalelor semiconductoare este un proces tipic de „lucrare lentă și lucru fin”, orice deriva de dimensiune mică va fi amplificată prin gradientul de temperatură și, în final, reflectată în defecte de cristal. Tijele de-molibden de înaltă calitate minimizează riscul acestei derive, permițând inginerilor de proces să se concentreze cu mai multă încredere asupra vitezei și controlului de turnare, mai degrabă decât să se preocupe de deformarea structurală.
În stadiul rapid actual al cristalelor de-dimensiuni mari și al materialelor semiconductoare de a treia-generație, cerințele pentru stabilitatea echipamentului vor deveni din ce în ce mai mari. O tijă de molibden fără diferențe la suprafață poate determina de fapt câte napolitane calificate sunt produse în fiecare lună.
Dacă faceți întreținere-echipamentelor de creștere a unui singur cristal, modernizare câmp termic sau selecție de noi proiecte, vă rugăm să-mi spuneți despre stabilitatea câmpului termic sau despre problemele cristalelor pe care le întâmpinați în prezent. Putem combina curba de temperatură specifică și structura echipamentului pentru a oferi un material de tijă de molibden mai țintit și sugestii de procesare pentru a ajuta la controlul complet a pericolelor ascunse „invizibile” ale deformării.
Stabilizați câmpul termic, iar cristalul va crește bine în mod natural-acesta este punctul central al investiției noastre în tije de molibden semiconductoare.
Ava
